この検知管は、GV100Sガステック気体採取器に接続して、ガス濃度の測定をします。
GV100Sガステック気体採取器がないと測定できません。

測定ガス名 ジボラン
化学式 B2H6

型式 測定範囲 通気回数 有効期限 1箱の測定回数 備考 メーカー詳細仕様書
22 ジボラン 0.02~5ppm 1,2,5 2年 10回 半導体製造 メーカー製品情報 

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