測定ガス名 | ホスフィン |
化学式 | PH3 |
型式 | 測定範囲 | 通気回数 | 有効期限 | 1箱の測定回数 | メーカー詳細仕様書 |
7Hホスフィン | 200~5500ppm | 1,5,2 | 2年 | 10回 | メーカー製品情報 |
7Jホスフィン | 2.5~1000ppm | 0.5,1~10 | 3年 | 10回 | メーカー製品情報 |
7ホスフィン | 2.5~100ppm | 1,2,4 | 3年 | 10回 | メーカー製品情報 |
7Lホスフィン | 0.15~5ppm | 5,10 | 3年 | 10回 半導体製造 | メーカー製品情報 |
7LAホスフィン | 0.05~9.8ppm | 1,3,5,10 | 2年 | 10回 半導体製造 | メーカー製品情報 |